Китай має власні технології для виробництва 5-нм чіпів
На тлі обмежень США щодо експорту обладнання для виробництва мікросхем Китай став розвивати власні технологічні рішення для створення 5-нанометрових чіпів. Президент компанії Shenzhen SiCarrier Industry Machines Ду Ліцзюнь заявив, що країна здатна компенсувати обмежений доступ до сучасних систем літографії, використовуючи неоптичні методи виробництва.
Як Китай створюватиме чіпи
Під час заходу Semicon China Ду Ліцзюнь зазначив, що Китай має інструменти для обходу санкцій та виробництва передових мікросхем. Зокрема, компанія SiCarrier продемонструвала новітнє обладнання для процесів травлення, осадження та метрологічного контролю.
Замість оптичної ультрафіолетової літографії (EUV), яку виробляє нідерландська компанія ASML, китайські підприємства застосовують мультипаттеринг. Це метод, що включає декілька етапів травлення та осадження для створення складних напівпровідникових структур. SiCarrier вже отримала відповідний патент від китайського регулятора інтелектуальної власності наприкінці 2023 року.
За словами Ду, використання мультипаттерингу збільшує кількість виробничих етапів приблизно на 20%, що може вплинути на продуктивність. Однак цей метод дозволяє Китаю уникнути залежності від передових EUV-машин і знизити витрати на виробництво чіпів.
Обладнання SiCarrier вже використовують найбільші китайські виробники чіпів, включаючи Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC). Також компанія активно співпрацює з Huawei.
